土壤濕度傳感器，也被稱為土壤水分傳感器。是指土壤的干濕度，表示土壤干濕度的物理量，通常用土壤含水量占干土重量的百分比表示，也可用土壤含水量占田間持水量的百分比表示。
土壤濕度傳感器有三種：
1.電阻式土壤濕度傳感器由感濕層的兩個(gè)電極組成，由許多小單元組成。電阻值可以用作土壤濕度傳感器。
2、離子敏感土壤濕度傳感器由敏感膜和轉(zhuǎn)換器組成，利用敏感膜識(shí)別離子的類型和濃度，轉(zhuǎn)換器將敏感膜感知信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，也可作為土壤濕度傳感器。
3.此外，電容濕度傳感器（CHS）由于感應(yīng)相對(duì)濕度范圍大，結(jié)構(gòu)和等效形式簡(jiǎn)單，生產(chǎn)過(guò)程容易，因此其研究受到廣泛關(guān)注。以梳狀鋁電極結(jié)構(gòu)為電容式土壤濕度傳感器的聚酞亞胺感濕介質(zhì)主要與CMOS工藝兼容，可采用成熟標(biāo)準(zhǔn)CMOS加工過(guò)程簡(jiǎn)單，可以在同一芯片上集成或包裝更多的設(shè)備（敏感設(shè)備或外圍電路設(shè)備），使土壤濕度傳感器具有更好的性能或更多的功能。
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